兆晟SuperSizer 揪出奈米殺手粒子

過去幾十年,半導體技術快速發展,現在7奈米製程技術已是高階生產的主流,5奈米技術也預計將於今年中實現,兩年後更可能進步到3奈米。半導體越做越小,製程也越來越複雜,產業亦面臨很多以前不存在的嚴峻挑戰嚴重影響良率;如在製程中,矽晶圓會經過多種高純度、高潔淨度的化學藥水處理,藥水內的奈米粒子不純物,原本不影響製程良率,現在因為元件的持續縮小,這些奈米粒子已經變成會造成良率損耗的殺手粒子,而業界還沒有良好的改善對策。

關於這個議題,我們可以想像業界如同患有深度近視的駕駛,未戴眼鏡馳騁於馬路上的危險場景,無法完全避免意外的良率損失發生。目前業界主要的粒子監控技術是利用雷射光直接照射製程溶液,透過光束於粒子散射訊號進行粒子大小與數量的量測。這樣的量測方式,雖然原理及機構較為簡單,但是實際上在奈米粒子範圍,已面臨無法突破的物理極限。現有量測技術在數量量測上更會到液體流動時所產生的奈米氣泡干擾,容易造成計數的不準確。在粒子大小的量測,設備雖號稱可量到20奈米,實際上因光學訊號已經過低只勉強可量到40奈米,完全不敷先進製程所需。

在這樣的背景下,量測儀器大廠致茂電子與在奈米粒子監控有突破性進展的工業技術研究院量測發展中心共同成立了兆晟奈米科技,並於2018年進駐新竹科學園區。兆晟提供半導體廠一副“如鷹眼般的眼鏡可以清楚地看到以前無法看到的製程液態環境中的奈米殺手粒子,讓大家可以在晶圓還沒受到殺手粒子傷害前預先採取適當的防治措施避免良率損耗。能有這樣的“鷹眼半導體廠在先進製程的良率改善將如虎添翼。經過多年的研發,兆晟團隊突破了量測的限制,開發出創新的 SuperSizer奈米粒子量測技術,完全不受奈米氣泡的干擾並大幅改善了小粒子的偵測效率,可以精準地量測3奈米以上的粒子大小及數量分布。在初步與國際半導體大廠合作,得到良好的成效。

承接工業技術研究院量測發展中心在奈米粒子監控的突破性技術和團隊以及致茂電子30多年來專注於量測儀器的研發、製造與在半導體產業的應用經驗,兆晟奈米科技將持續提供新一代精準、可靠的SuperSizer“化學溶液中奈米粒子監測系統協助半導體製造廠及其供應鏈改善先進製程的製程良率。爾後,計畫將此精準的奈米粒子監控技術推廣到光電、食品及製藥業等領域。

更多資訊請參閱兆晟SuperSizer 奈米粒子監測系統

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